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펌프 모니터링 시스템
| 소프트웨어 | NI LabVIEW |
|---|---|
| 하드웨어 | Edwards iXH Dry Pumping Systems |
시스템 개요 및 목적
반도체 장비에 필수 구성 요소인 진공 펌프를 원격으로 모니터링하는 프로그램입니다.
시스템 설명
공장 전체에 설치된 다수의 진공 펌프를 대상으로 동시에 모니터링을 수행하여 실시간 펌프 운영 상태 및 사전 고장 진단 예측에 활용합니다.
진공 펌프의 주요 측정 파라메타에 대하여 상시 측정 및 저장을 수행하고 Warning 및 Alarm 발생 시 사용자에게 해당 정보를 이메일로 전달합니다.
모니터링을 수행하는 Monitoring 프로그램과 저장한 데이터를 확인 및 분석할 수 있는 Analyzer 프로그램 2종으로 구성되어 있습니다.
