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이온원 진단 프로그램
소프트웨어 | NI LabVIEW |
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하드웨어 | NI PXI System LeCroy Oscilloscope Keysight Function Generator |
시스템 개요 및 목적
이중 이온원 내부 플라즈마 진단을 위한 진단계 구성 및 진단 시험을 수행하는 프로그램입니다.
시스템 설명
외부전력 공급 장치를 이용하여 진단계 장치에 전원을 공급하고 장비에 부착된 탐침봉(Probe)을 통해 시험 시 진단계 내부에 발생하는 전류를 측정합니다.
펄스형 전력 공급 장치 및 Laser 발사 장치 등을 이용해 다양한 시험을 수행합니다.